ISO 5618-2（ファインセラミックス（アドバンストセラミックス、アドバンストテクニカルセラミックス） - GaN結晶表面欠陥試験方法 - 第2部：エッチングピット密度の測定方法）

2024/05/07

日本規格協会では経済産業省からの委託で国内審議団体に調査し、
⽇本提案による国際規格(ISO, IEC, ISO/IEC JTC 1)で、ISの発行段階（60.00）に到達した規格に関する最新情報を掲載いたします。

ISO 5618-2:2024
ファインセラミックス(先進セラミックス，先進技術セラミックス)－GaN結晶表面欠陥の検査方法－第2部：エッチピット密度の求め方
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for GaN crystal surface defects — Part 2: Method for determining etch pit density

発行時期：2024年4月30日
審議団体：日本ファインセラミックス協会

規格概要
ファインセラミックス(先進セラミックス，先進技術セラミックス)－GaN結晶表面欠陥の検査方法－第2部：エッチピット密度の求め方

[日本規格協会]
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