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規格番号 | C6760 |
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規格名称 | 弾性表面波デバイス用単結晶ウェハ-仕様及び測定法 |
英文名称 | Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications-Specifications and measuring methods |
概要 | この規格は、弾性表面波フィルタ及び弾性表面波共振子の基板として用いる人工水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四ほう酸リチウム及びランガサイトのウェハについてについて規定したものであるが、最近の生産及び使用の実態を踏まえて、規格内容の充実を図るため、改正を行うものである。 主な改正点は、次のとおり。 ・用語及び定義、並びに要求事項において、ウェハに限定した規格であることを明確にするため、材料に関連する内容を削除する。 ・要求事項において、キューリー温度及び格子定数はウェハに関わる特性ではなく結晶に関わる特性のため削除し、それに伴いキュリー温度測定法及び格子定数測定法(ボンド法)を削除する。 ・要求事項において、厚さ及び許容差、透過率、明度、及び色差を追加し、それに伴い新たに“厚さ及び厚さむらの測定”、“透過率の測定”及び“明度及び色差の測定”の箇条を追加する。 |
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基礎として用いた国際規格の番号及び同等性記号 | MOD IEC 62276:2025, Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications-Specifications and measuring methods |
ICS分類 | 31.140 |
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