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ISO 16531:2020
表面化学分析-深さ方向分析-イオンビームアライメントの方法及びAES及びXPSにおける深さ方向分析のための電流又は電流密度の関連測定方
Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

発行年月日: 2020-10-05
状態: 有効
邦訳版: 無

TC ISO/TC 201/SC 4
ICS 71.040.40
対応JIS規格
備考
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