JIS R 1690:2018
ファインセラミックス薄膜と金属薄膜との界面熱抵抗の測定方法
Determination of interfacial thermal resistance between fine ceramic film and metal film
発行年月日:
2018-12-20
確認年月日:
2023-10-20
状態:
有効
和文 22ページ
2,860 円(税込) 本体価格:2,600円
- プレビュー
- 和文(PDF)
- 規格概要
-
基板上に形成された,主に厚さ10nm~100nmの均質なファインセラミックス薄膜と,その上下に位置するように成膜された厚さ約100nmの金属薄膜とからなる3層薄膜に対し,面積熱拡散時間法によるファインセラミックス層の膜厚方向の熱拡散率及びファインセラミックス層と金属層との間の界面熱抵抗を測定する方法について規定。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
---|---|
履歴 |
2011-12-20 制定 2016-10-20 確認 2018-12-20 改正 2023-10-20 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
|
原案作成団体 |
一般財団法人 日本規格協会 一般社団法人 日本ファインセラミックス協会 |
ICS |
81.060.30 |
対応国際規格 |
同等性に関する説明
|
引用JIS規格 | B0601 , B0651 , C1602 , R1600 , R1636 , R1689 |
引用国際規格 | |
ハンドブック |
ファインセラミックス:2021 |
備考 | |
正誤票・訂正票 |