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JIS R 1690:2018
ファインセラミックス薄膜と金属薄膜との界面熱抵抗の測定方法
Determination of interfacial thermal resistance between fine ceramic film and metal film

発行年月日: 2018-12-20
確認年月日: 2023-10-20
状態: 有効

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
基板上に形成された,主に厚さ10nm~100nmの均質なファインセラミックス薄膜と,その上下に位置するように成膜された厚さ約100nmの金属薄膜とからなる3層薄膜に対し,面積熱拡散時間法によるファインセラミックス層の膜厚方向の熱拡散率及びファインセラミックス層と金属層との間の界面熱抵抗を測定する方法について規定。
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公示の種類 確認
履歴 2011-12-20 制定
2016-10-20 確認
2018-12-20 改正
2023-10-20 確認
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
一般社団法人 日本ファインセラミックス協会
ICS 81.060.30
対応国際規格
引用JIS規格 B0601 ,  B0651 ,  C1602 ,  R1600 ,  R1636 ,  R1689
引用国際規格
ハンドブック ファインセラミックス:2021
備考
正誤票・訂正票
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