NEWS TOPICS

会員向け情報

規格・書籍・物品

詳細検索する

JIS R 1683:2014
原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法
Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

発行年月日: 2014-10-20
確認年月日: 2024-10-21
状態: 有効

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち,算術平均粗さRaの範囲が1~30nm,かつ,粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲が0.04~2.5μmの表面粗さを,原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定。
全文を表示する
公示の種類 確認
履歴 2007-11-20 制定
2012-10-22 確認
2014-10-20 改正
2019-10-21 確認
2024-10-21 確認
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
一般社団法人 日本ファインセラミックス協会
ICS 81.060.30
対応国際規格
引用JIS規格 B0601 ,  B0633 ,  B0651 ,  Z8401
引用国際規格
ハンドブック ファインセラミックス:2021
備考 この規格には、カラーページが含まれます。
正誤票・訂正票
LOADING...