JIS R 1683:2014
原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法
Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy
発行年月日:
2014-10-20
確認年月日:
2024-10-21
状態:
有効
和文 24ページ
3,410 円(税込) 本体価格:3,100円
- プレビュー
- 和文(PDF)
- 規格概要
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基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち,算術平均粗さRaの範囲が1~30nm,かつ,粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲が0.04~2.5μmの表面粗さを,原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
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履歴 |
2007-11-20 制定 2012-10-22 確認 2014-10-20 改正 2019-10-21 確認 2024-10-21 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
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原案作成団体 |
一般財団法人 日本規格協会 一般社団法人 日本ファインセラミックス協会 |
ICS |
81.060.30 |
対応国際規格 |
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | B0601 , B0633 , B0651 , Z8401 |
引用国際規格 | |
ハンドブック |
ファインセラミックス:2021 |
備考 | この規格には、カラーページが含まれます。 |
正誤票・訂正票 |