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JIS R 1637:1998
ファインセラミックス薄膜の抵抗率試験方法―4探針法による測定方法
Test method for resistivity of conductive fine ceramic thin films with a four-point probe array

発行年月日: 1998-01-31
確認年月日: 2022-10-20
状態: 有効

規格概要
ファインセラミックス薄膜の抵抗率を4探針法によって試験する方法について規定。適用できる抵抗率の範囲は,1×10×-5~2×10×2Ω・cmとし,膜厚は500μm以下とする。
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公示の種類 確認
履歴 1998-01-20 制定
2003-06-20 確認
2008-03-20 確認
2012-10-22 確認
2017-10-20 確認
2022-10-20 確認
原案作成団体 一般社団法人 日本ファインセラミックス協会
ICS 81.060.30
対応国際規格
引用JIS規格 B0651 ,  R1600 ,  R1636 ,  Z8401
引用国際規格
ハンドブック ファインセラミックス:2021
備考
正誤票・訂正票
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