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JIS K 0189:2013
マイクロビーム分析―電子プローブマイクロ分析―波長分散X線分光法のパラメータの決定方法
Microbeam analysis -- Electron probe microanalysis -- Determination of experimental parameters for wavelength dispersive X-ray spectroscopy

発行年月日: 2013-07-22
確認年月日: 2023-10-20
状態: 有効

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
電子プローブマイクロ分析(EPMA)を行う上で考慮しなければならない電子プローブ,波長分散X線分光器及び試料に関する測定パラメータの決定方法について規定。特に,プローブ電流,プローブ電流密度,不感時間,波長分解能,バックグラウンド,分析面積,分析深さ及び分析体積の決定のための手順についても規定。エネルギー分散X線分光器には適用しない。
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公示の種類 確認
履歴 2013-07-22 制定
2018-10-22 確認
2023-10-20 確認
原案作成団体 一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.50
対応国際規格 ISO 14594:2003 (MOD)
引用JIS規格 Q17025
引用国際規格
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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