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JIS K 0169:2012
表面化学分析―二次イオン質量分析法―デルタ多層標準物質を用いた深さ分解能パラメータ評価方法
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

発行年月日: 2012-04-20
確認年月日: 2022-10-20
状態: 有効

規格概要
デルタ多層標準物質を用いたSIMS深さ方向分布の測定における上昇端ディケイ長,下降端ディケイ長及びガウス分布幅の三つの深さ分解能パラメータを評価するための方法について規定。
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公示の種類 確認
履歴 2012-04-20 制定
2017-10-20 確認
2022-10-20 確認
原案作成団体 一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.40
対応国際規格 ISO 20341:2003 (IDT)
引用JIS規格 K0147
引用国際規格
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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