JIS K 0169:2012
表面化学分析―二次イオン質量分析法―デルタ多層標準物質を用いた深さ分解能パラメータ評価方法
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
発行年月日:
2012-04-20
確認年月日:
2022-10-20
状態:
有効
和文 8ページ
2,090 円(税込) 本体価格:1,900円
- 規格概要
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デルタ多層標準物質を用いたSIMS深さ方向分布の測定における上昇端ディケイ長,下降端ディケイ長及びガウス分布幅の三つの深さ分解能パラメータを評価するための方法について規定。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
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履歴 |
2012-04-20 制定 2017-10-20 確認 2022-10-20 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
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原案作成団体 |
一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会 |
ICS |
71.040.40 |
対応国際規格 |
ISO 20341:2003
(IDT)
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | K0147 |
引用国際規格 | |
ハンドブック |
化学分析:2025 |
備考 | |
正誤票・訂正票 |