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JIS K 0163:2010
表面化学分析―二次イオン質量分析法―イオン注入標準物質を用いた相対感度係数の決定方法
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

発行年月日: 2010-04-20
確認年月日: 2020-10-20
状態: 有効

規格概要
イオン注入標準物質を用いて,二次イオン質量分析法による特定のマトリックス材料中に存在する,特定元素の1同位体の相対感度係数を決定する方法について規定。
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公示の種類 確認
履歴 2010-04-20 制定
2015-10-20 確認
2020-10-20 確認
原案作成団体 一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.40
対応国際規格 ISO 18114:2003 (IDT)
引用JIS規格 K0147
引用国際規格
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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