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JIS K 0157:2021
表面化学分析―二次イオン質量分析法―飛行時間形二次イオン質量分析計における質量軸の校正
Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

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和文(PDF)
規格概要
一般的な分析を目的として使用される飛行時間形二次イオン質量分析計(SIMS)装置における質量校正確度の最適化方法について規定。
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公示の種類 制定
履歴 2021-07-20 制定
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.40
対応国際規格 ISO 13084:2018 (IDT)
引用JIS規格
引用国際規格
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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