JIS K 0146:2002
表面化学分析―スパッター深さ方向分析―層構造系標準物質を用いた最適化法
Surface chemical analysis -- Sputter depth profiling -- Optimization using layered systems as reference materials
発行年月日:
2002-04-30
確認年月日:
2021-10-20
状態:
有効
和文 20ページ
2,860 円(税込) 本体価格:2,600円
- プレビュー
- 和文(PDF)
- 規格概要
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オージェ電子分光法,X線光電子分光法及び二次イオン質量分析法における測定条件の関数として最適な深さ分解能を得るために,適切な単層及び多層構造系標準物質を用いるスパッター深さ方向分析パラメータ深さ方向分析パラメータの最適化手順について規定。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
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履歴 |
2002-03-20 制定 2007-05-20 確認 2011-10-20 確認 2016-10-20 確認 2021-10-20 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
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原案作成団体 |
一般財団法人 日本規格協会 一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会 |
ICS |
71.040.50 |
対応国際規格 |
ISO 14606:2000 (IDT)
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | |
引用国際規格 | |
ハンドブック |
化学分析:2025 |
備考 | |
正誤票・訂正票 |