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JIS K 0146:2002
表面化学分析―スパッター深さ方向分析―層構造系標準物質を用いた最適化法
Surface chemical analysis -- Sputter depth profiling -- Optimization using layered systems as reference materials

発行年月日: 2002-04-30
確認年月日: 2021-10-20
状態: 有効

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
オージェ電子分光法,X線光電子分光法及び二次イオン質量分析法における測定条件の関数として最適な深さ分解能を得るために,適切な単層及び多層構造系標準物質を用いるスパッター深さ方向分析パラメータ深さ方向分析パラメータの最適化手順について規定。
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公示の種類 確認
履歴 2002-03-20 制定
2007-05-20 確認
2011-10-20 確認
2016-10-20 確認
2021-10-20 確認
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.50
対応国際規格 ISO 14606:2000 (IDT)
引用JIS規格
引用国際規格
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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