NEWS TOPICS

会員向け情報はこちら

規格・書籍・物品

詳細検索する

ISO 17109:2022
表面化学分析-深さ分析-単層及び複層薄膜を使用するX線光電子分光法,オージェ電子分光法及び二次イオン質量分析法スパッタ深さ分析におけるスパッタ率の測定法
Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

発行年月日: 2022-03-01
状態: 有効
邦訳版: 無

TC ISO/TC 201/SC 4
ICS 71.040.40
対応JIS規格
備考
LOADING...