ISO 17109:2022
表面化学分析-深さ分析-単層及び複層薄膜を使用するX線光電子分光法,オージェ電子分光法及び二次イオン質量分析法スパッタ深さ分析におけるスパッタ率の測定法
Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
発行年月日:
2022-03-01
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 21ページ
25,410 円(税込) 本体価格:23,100円
TC |
ISO/TC 201/SC 4 |
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ICS |
71.040.40 |
対応JIS規格 |
同等性に関する説明
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備考 |