ISO 15632:2021
マイクロ分析-電子プローブマイクロ分析(SEM)または電子プローブで使用するエネルギー分散型エックス線スペクトロメータの仕様及び点検のための高性能機器の性能パラメータ
Microbeam analysis -- Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
発行年月日:
2021-02-12
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 13ページ
18,865 円(税込) 本体価格:17,150円
TC |
ISO/TC 202 |
---|---|
ICS |
71.040.99 |
対応JIS規格 |
同等性に関する説明
|
備考 |