ISO 14644-9:2022
クリーンルーム及び関連制御環境-第9部:粒子数濃度による表面清浄度の評価
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
発行年月日:
2022-05-09
状態:
有効
邦訳版:
有( 英・日対訳版)
英語 26ページ
25,410 円(税込) 本体価格:23,100円
邦訳 66ページ
42,207 円(税込) 本体価格:38,370円
TC |
ISO/TC 209 |
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ICS |
13.040.35 |
対応JIS規格 |
同等性に関する説明
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備考 |