ISO 14644-17:2021
クリーンルーム及び関連制御環境-第17部:粒子堆積速度のアプリケーション
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 17: Particle deposition rate applications
発行年月日:
2021-02-12
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 26ページ
27,588 円(税込) 本体価格:25,080円
TC |
ISO/TC 209 |
---|---|
ICS |
13.040.35 |
対応JIS規格 |
同等性に関する説明
|
備考 |