ISO 14644-10:2022
クリーンルーム及び関連制御環境-第10部:化学的汚染による表面清浄度の評価
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
発行年月日:
2022-05-04
状態:
有効
邦訳版:
有( 英・日対訳版)
英語 31ページ
29,837 円(税込) 本体価格:27,125円
邦訳 72ページ
49,412 円(税込) 本体価格:44,920円
TC |
ISO/TC 209 |
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ICS |
13.040.35 |
対応JIS規格 |
同等性に関する説明
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備考 |