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BS EN IEC 62276:2025
表面弾性波(SAW)デバイスに応用される単結晶ウェーハ-仕様及び測定方法
Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications. Specifications and measuring methods

発行年月日: 2025-04-30
状態: 有効
邦訳版: 無

移行先
移行元 BS EN 62276:2016
ICS 31.140
対応国際規格 EN IEC 62276, IEC 62276:2025
備考
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