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JIS K 0159:2021
表面化学分析―走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いた幾何学量の測定:測定系の校正方法
Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
最高水準での幾何学量を測定するために,走査型プローブ顕微鏡(SPM)の走査軸を特徴付ける方法及び校正する方法について規定。
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公示の種類 制定
履歴 2021-11-22 制定
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会
ICS 71.040.40
対応国際規格 ISO 11952:2019 (IDT)
引用JIS規格 K0147-2
引用国際規格 IEC/TS 62622
ISO 11039
ISO/IEC Guide 98-3
ハンドブック 化学分析:2025
備考
正誤票・訂正票
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