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JIS B 9920-2:2019
クリーンルーム及び関連する制御環境―第2部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

発行年月日: 2019-03-20
確認年月日: 2023-10-20
状態: 有効

プレビュー
和文(PDF)  英訳(PDF)
規格概要
クリーンルーム又はクリーンゾーンが,粒子数濃度による空気清浄度を維持し,十分に機能を発揮していることを保証するためのモニタリングについて規定。浮遊粒子数濃度の測定又はこれに影響するパラメータに基づく,クリーンルーム又はクリーンゾーンの性能に関するモニタリング計画の最低限の要求事項を規定。
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公示の種類 確認
履歴 2019-03-20 制定
2023-10-20 確認
原案作成団体 一般財団法人 日本規格協会
公益社団法人 日本空気清浄協会
ICS 13.040.35
対応国際規格 ISO 14644-2:2015 (MOD)
引用JIS規格 B9920-1 ,  B9921
引用国際規格
ハンドブック
備考
正誤票・訂正票
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