JIS B 9920-2:2019
クリーンルーム及び関連する制御環境―第2部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
発行年月日:
2019-03-20
確認年月日:
2023-10-20
状態:
有効
和文 16ページ
2,420 円(税込) 本体価格:2,200円
英訳 15ページ
8,800 円(税込) 本体価格:8,000円
- プレビュー
- 和文(PDF) 英訳(PDF)
- 規格概要
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クリーンルーム又はクリーンゾーンが,粒子数濃度による空気清浄度を維持し,十分に機能を発揮していることを保証するためのモニタリングについて規定。浮遊粒子数濃度の測定又はこれに影響するパラメータに基づく,クリーンルーム又はクリーンゾーンの性能に関するモニタリング計画の最低限の要求事項を規定。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
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履歴 |
2019-03-20 制定 2023-10-20 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
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原案作成団体 |
一般財団法人 日本規格協会 公益社団法人 日本空気清浄協会 |
ICS |
13.040.35 |
対応国際規格 |
ISO 14644-2:2015
(MOD)
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | B9920-1 , B9921 |
引用国際規格 | |
ハンドブック | |
備考 | |
正誤票・訂正票 |