ISO 23812:2009
表面化学分析-二次イオン形質量分析方法-多層膜標準物質を用いるシリコンの深さ方向校正法
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
発行年月日:
2009-04-08
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 19ページ
30,442 円(税込) 本体価格:27,675円
| TC |
ISO/TC 201/SC 6 |
|---|---|
| ICS |
71.040.40 |
| 対応規格 |
JIS K 0156:2018
(IDT)
同等性に関する説明
|
| 備考 |