ISO 14237:2010
・表面化学分析-二次イオン質量分析法-シリコン中に均一に添加されたボロンの原子濃度の定量方法
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
発行年月日:
2010-07-09
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 19ページ
25,410 円(税込) 本体価格:23,100円
TC |
ISO/TC 201/SC 6 |
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ICS |
71.040.40 |
対応JIS規格 |
JIS K 0143:2023
(MOD)
同等性に関する説明
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備考 |