JIS R 1636:1998
ファインセラミックス薄膜の膜厚試験方法―触針式表面粗さ計による測定方法
Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer
発行年月日:
1998-01-31
確認年月日:
2022-10-20
状態:
有効
和文 10ページ
2,090 円(税込) 本体価格:1,900円
英訳 6ページ
3,740 円(税込) 本体価格:3,400円
- 規格概要
-
ファインセラミックス薄膜の膜厚を,蝕針式表面粗さ計によって試験する方法について規定。適用できる膜厚の範囲は,10~10000nmとする。全文を表示する
公示の種類 | 確認 |
---|---|
履歴 |
1998-01-20 制定 2003-06-20 確認 2008-03-20 確認 2012-10-22 確認 2017-10-20 確認 2022-10-20 確認
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
|
原案作成団体 |
一般社団法人 日本ファインセラミックス協会 |
ICS |
81.060.30 |
対応国際規格 |
同等性に関する説明
|
引用JIS規格 | B0651 , R1600 , Z8401 |
引用国際規格 |
ISO 3274 |
ハンドブック |
ファインセラミックス:2021 |
備考 | |
正誤票・訂正票 |