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JIS R 1636:1998
ファインセラミックス薄膜の膜厚試験方法―触針式表面粗さ計による測定方法
Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer

発行年月日: 1998-01-31
確認年月日: 2022-10-20
状態: 有効

規格概要
ファインセラミックス薄膜の膜厚を,蝕針式表面粗さ計によって試験する方法について規定。適用できる膜厚の範囲は,10~10000nmとする。
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公示の種類 確認
履歴 1998-01-20 制定
2003-06-20 確認
2008-03-20 確認
2012-10-22 確認
2017-10-20 確認
2022-10-20 確認
原案作成団体 一般社団法人 日本ファインセラミックス協会
ICS 81.060.30
対応国際規格
引用JIS規格 B0651 ,  R1600 ,  Z8401
引用国際規格 ISO 3274
ハンドブック ファインセラミックス:2021
備考
正誤票・訂正票
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