JIS H 0616:2024
室温フーリエ変換赤外吸収分光法によるシリコン単結晶の低濃度置換型炭素濃度の測定方法
Test method for low substitutional atomic carbon content of single crystal silicon by Fourier transform infrared absorption spectroscopy at room temperature
発行年月日:
2024-03-21
状態:
有効
和文 24ページ
3,300 円(税込) 本体価格:3,000円
- プレビュー
- 和文(PDF)
- 規格概要
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室温フーリエ変換赤外吸収分光法によるシリコン単結晶の低濃度置換型炭素濃度の測定方法について規定。炭素原子が5×1014 atoms/cm3(0.01 ppma)~5×1015 atoms/cm3(0.1 ppma)の濃度範囲の測定に適用可能である。この規格による測定方法は,生産管理,材料研究,品質保証,及び材料承認に適用性がある。全文を表示する
公示の種類 | 制定 |
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履歴 |
2024-03-21 制定
履歴に関する説明JISは、産業標準化法に基づき、主務大臣が必要と認め制定する国家規格です。JISの制定、確認又は改正の日から5年を経過する日までに、それがなお適正であるか見直しが行われ、主務大臣が確認、改正又は廃止を行います。
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原案作成団体 |
一般社団法人 新金属協会 |
ICS |
29.045 73.080 77.120.99 |
対応国際規格 |
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | K0212:2016 |
引用国際規格 | |
ハンドブック | |
備考 | |
正誤票・訂正票 |