NEWS TOPICS

会員向け情報はこちら

規格・書籍・物品

詳細検索する

JIS H 0616:2024
室温フーリエ変換赤外吸収分光法によるシリコン単結晶の低濃度置換型炭素濃度の測定方法 
Test method for low substitutional atomic carbon content of single crystal silicon by Fourier transform infrared absorption spectroscopy at room temperature

プレビュー
和文(PDF)
規格概要
室温フーリエ変換赤外吸収分光法によるシリコン単結晶の低濃度置換型炭素濃度の測定方法について規定。炭素原子が5×1014 atoms/cm3(0.01 ppma)~5×1015 atoms/cm3(0.1 ppma)の濃度範囲の測定に適用可能である。この規格による測定方法は,生産管理,材料研究,品質保証,及び材料承認に適用性がある。
全文を表示する
公示の種類 制定
履歴 2024-03-21 制定
原案作成団体 一般社団法人 新金属協会
ICS 29.045
73.080
77.120.99
対応国際規格
引用JIS規格 K0212:2016
引用国際規格
ハンドブック
備考
正誤票・訂正票
LOADING...