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JIS H 0613:1978
シリコンスライスウェーハ及びラップウェーハの外観検査
Visual inspection for sliced and lapped silicon wafers

発行年月日: 1978-01-05
確認年月日: 2024-10-21
状態: 有効

規格概要
シリコンのスライス又はラップしたウエーハの外観検査について規定。
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公示の種類 確認
履歴 1978-01-01 制定
1983-10-01 確認
1988-12-01 確認
1993-12-01 確認
1999-06-20 確認
2004-03-20 確認
2009-10-01 確認
2014-10-20 確認
2019-10-21 確認
2024-10-21 確認
原案作成団体 一般社団法人 新金属協会
ICS 29.045
77.120.99
対応国際規格
引用JIS規格 C7612 ,  H0609
引用国際規格
ハンドブック
備考
正誤票・訂正票
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