JEITA EDR-4712/100
SiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法 (Part 1:結晶欠陥の分類)
Non-destructive recognition procedures of defin Silicon Carbide Wafers (Part 1: Classification of defects)
発行年月日:
2016-03-01
状態:
有効
和文 30ページ
8,800 円(税込) 本体価格:8,000円
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| 対応規格 |
同等性に関する説明
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| 引用JIS規格 | |
| 引用規格 | |
| 備考 |