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JEITA EDR-4712/100
SiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法 (Part 1:結晶欠陥の分類)
Non-destructive recognition procedures of defin Silicon Carbide Wafers (Part 1: Classification of defects)

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規格概要
この技術レポートはSiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法 (Part 1:結晶欠陥の分類)についてまとめたものである。
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ICS
対応規格
引用JIS規格
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備考
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