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JACA 47:2008
クリーンルーム及び関連制御表面清浄化方法指針
Standard for Cleaning Methods on Surface Contamination in Cleanrooms and Associated Control Environments

プレビュー
和文(PDF)
ICS
対応規格
引用JIS規格 B9919 ,  ISO14644-5 ,  JACA14C ,  JACA27 ,  JACA34 ,  Z8122
引用規格
備考
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