JACA 47:2008
クリーンルーム及び関連制御表面清浄化方法指針
Standard for Cleaning Methods on Surface Contamination in Cleanrooms and Associated Control Environments
発行年月日:
2008-09-01
状態:
有効
和文 42ページ
3,960 円(税込) 本体価格:3,600円
- プレビュー
- 和文(PDF)
ICS | |
---|---|
対応規格 |
同等性に関する説明
|
引用JIS規格 | B9919 , ISO14644-5 , JACA14C , JACA27 , JACA34 , Z8122 |
引用規格 | |
備考 |