JACA 45:2007
クリーンルームおよび関連する制御環境中における分子状汚染物質に関する表面清浄度の表記方法および測定方法指針
Guideline for Classification of Surface Cleanliness for Molecular Contaminant Level in Cleanrooms and Associated Controlled Environments and Its Evaluation Methods
発行年月日:
2007-11-01
状態:
有効
和文 13ページ
1,980 円(税込) 本体価格:1,800円
- プレビュー
- 和文(PDF)
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同等性に関する説明
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