JACA 43:2006
クリーンルームにおける基板表面汚染物質の測定方法指針
Standard for Evaluation Methods on Substrate Surface Contamination in Cleanrooms and Associated Controlled Environments
発行年月日:
2006-01-31
状態:
有効
和文 28ページ
3,960 円(税込) 本体価格:3,600円
- プレビュー
- 和文(PDF)
ICS | |
---|---|
対応規格 |
同等性に関する説明
|
引用JIS規格 | B7956 , B9920 , B9924 , JACA34 , JACA35 , K0114 , K0116 , K0117 , K0119 , K0121 , K0127 , K0133 , K0136 , K0148 , Q17025 |
引用規格 | |
備考 |