JACA 42:2006
クリーンルーム及び関連する制御環境中における粒子状汚染物質に関する表面清浄度の表記方法及び測定方法指針
Classification of Surface Cleanliness for Particular Contaminant Level in Cleanrooms
and Associated Controlled Environments and Its Evaluation Methods
発行年月日:
2006-01-31
状態:
有効
和文 8ページ
1,980 円(税込) 本体価格:1,800円
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対応規格 |
同等性に関する説明
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備考 |