JACA 41:2005
クリーンルーム運転時の管理と清浄化指針
Standard for Maintenance and cleaning in cleanroom operations
発行年月日:
2005-04-30
状態:
有効
和文 32ページ
3,960 円(税込) 本体価格:3,600円
プレビュー | 和文(PDF) |
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規格概要 | |
ICS | |
対応規格 |
ISO/DIS 14644-5 (MOD)
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | |
引用規格 | |
備考 |