JACA 35A:2003
クリーンルーム及び関連する制御環境中における分子状汚染
物質に関する空気清浄度の表記方法及び測定方法指針
Standard for Classification of Air Cleanliness for Airborne Molecular Contaminant (AMC) Level in Cleanrooms and Associated Controlled Environments and Its Evaluation Methods
発行年月日:
2003-01-31
状態:
有効
和文 18ページ
1,320 円(税込) 本体価格:1,200円
- プレビュー
- 和文(PDF)
ICS | |
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対応規格 |
同等性に関する説明
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引用JIS規格 | B8330 , B9908 , B9921 , B9927 , C1502 , C9603 , Z8122 , Z8703 , Z8731 , Z8901 |
引用規格 | |
備考 |