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JACA 35A:2003
クリーンルーム及び関連する制御環境中における分子状汚染 物質に関する空気清浄度の表記方法及び測定方法指針
Standard for Classification of Air Cleanliness for Airborne Molecular Contaminant (AMC) Level in Cleanrooms and Associated Controlled Environments and Its Evaluation Methods

プレビュー
和文(PDF)
ICS
対応規格
引用JIS規格 B8330 ,  B9908 ,  B9921 ,  B9927 ,  C1502 ,  C9603 ,  Z8122 ,  Z8703 ,  Z8731 ,  Z8901
引用規格
備考
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