ISO 19383:2026
原子層堆積-原子層堆積前駆体の化学的特性および関連するプロセス仕様
Atomic layer deposition -- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
発行年月日:
2026-06-01
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 13ページ
22,550 円(税込) 本体価格:20,500円
| TC |
ISO/TC 107 |
|---|---|
| ICS |
25.220.01 |
| 対応規格 |
同等性に関する説明
|
| 備考 |