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ISO 19383:2026
原子層堆積-原子層堆積前駆体の化学的特性および関連するプロセス仕様
Atomic layer deposition -- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors

発行年月日: 2026-06-01
状態: 有効
邦訳版: 無

TC ISO/TC 107
ICS 25.220.01
対応規格
備考
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