ISO 14644-14:2026
クリーンルーム及び関連制御環境-第14部:浮遊微小粒子濃度による機器の使用に関する適合性の評価
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
発行年月日:
2026-02-25
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 20ページ
30,442 円(税込) 本体価格:27,675円
| TC |
ISO/TC 209 |
|---|---|
| ICS |
13.040.35 |
| 対応規格 |
同等性に関する説明
|
| 備考 |