ISO 14644-13:2026
クリーンルーム及び関連制御環境-第13部:微粒子及び化学分類に関する規定の清浄度を実現するための表面の清浄
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration
発行年月日:
2026-02-25
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 32ページ
35,854 円(税込) 本体価格:32,595円
| TC |
ISO/TC 209 |
|---|---|
| ICS |
13.040.35 |
| 対応規格 |
同等性に関する説明
|
| 備考 |