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ISO 14706:2014
・表面化学分析-全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェハの表面元素汚染の測定法
Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

発行年月日: 2014-07-25
状態: 有効
邦訳版: 無

TC ISO/TC 201
ICS 71.040.40
対応規格 JIS K 0148:2026 (IDT)
備考
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