ISO 14706:2014
・表面化学分析-全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェハの表面元素汚染の測定法
Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
発行年月日:
2014-07-25
状態:
有効
邦訳版:
無
英語 25ページ
29,700 円(税込) 本体価格:27,000円
| TC |
ISO/TC 201 |
|---|---|
| ICS |
71.040.40 |
| 対応規格 |
JIS K 0148:2026
(IDT)
同等性に関する説明
|
| 備考 |