ISO 14644-2:2015
クリーンルーム及び関連制御環境-第2部:粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
発行年月日:
2015-12-09
状態:
有効
邦訳版:
有( 英・日対訳版)
英語 14ページ
18,865 円(税込) 本体価格:17,150円
邦訳 44ページ
31,416 円(税込) 本体価格:28,560円
TC |
ISO/TC 209 |
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ICS |
13.040.35 |
対応JIS規格 |
JIS B 9920-2:2019
(MOD)
同等性に関する説明
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備考 |