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ISO 14644-1:2015
クリーンルーム及び関連制御環境-第1部:粒子数濃度による空気清浄度の分類
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration

発行年月日: 2015-12-09
状態: 有効
邦訳版: 有( 英・日対訳版)

TC ISO/TC 209
ICS 13.040.35
対応JIS規格 JIS B 9920-1:2019 (MOD)
備考
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